真空泵是根据一定的工作原理，用于产生、改善和维持真空环境，是直接影响真空成套设备性能质量的重要设备。在医药、化工、食品、电子等下游行业中，真空泵得到了广泛的应用，其需求量很大。一般真空范围可分为三个级别：1、粗低真空，气压760~10~3 Torr，主要用于食品、化工、轻工、制药等行业。2、高真空，主要用于集成电路、半导体制造及各种镀膜工艺、各种表面处理工艺、离子注入等。3超高真空，主要用于材料科学分析、物理现象研究、表面分析高纯材料制备等。下面就随真空设备展一起来了解一下吧。

　　全球的真空市场规模在2019年达到了45.4亿欧元，其中半导体行业应用占据了真空市场的份额最大。据国际真空技术统计工作组(ISVT)的分类和统计，2017年-2019年真空市场规模为44.9、48.8、45.4亿欧元，市场规模相对稳定，其中半导体需求约占37%,2019年半导体真空市场需求约占17.3亿欧元。

　　相关报告来源：北京诺拓信息咨询有限公司《真空泵行业市场调研分析及投资预测研究报告》

　　资料来源：诺拓项目分析。

　　半导体行业是真空泵的重要应用领域，也是目前真空泵增长的主要动力。现在真空泵已经被广泛应用于半导体制造的许多工艺环节，如刻蚀，镀膜，扩散等。要使制造工艺控制在更小的尺寸，越来越多的半导体制造工艺步骤需要具有更高的精确度和均匀性。要达到这个目的，半导体工艺必须在一个可控的真空环境中进行。在半导体制造中，工艺步骤的数量会随着功能和电路尺寸的减小而不断增加，从而导致对真空设备需求的增加。另外，小型化需要新的制造技术，这将促使半导体制造商采用真空系统。

　　2017年至2020年期间，全球半导体设备市场销售总额为566/645/598/689亿美元，结合前面提到的半导体真空市场规模，真空泵占同期半导体设备销售总额的3%~4%。此外，真空泵还需要定期维护，服务市场也是重要组成部分，如Altas公司的真空部门每年服务收入占该部门总收入的25%。预计到2025年，全球半导体真空泵的设备与服务的市场规模约217亿元，其中设备需求市场规模约162亿元，服务需求市场规模约54亿元。国内半导体真空泵设备的市场规模约43亿元，若加上服务的需求，则同时期设备及服务的总体市场规模57亿元，未来5年复合增长率为7.5%，保持稳定增长。

　　图 全球半导体设备销售额(亿美元)

　　碳中和目标下，太阳能组件价格大幅下跌，导致光伏电站投资成本降低，光伏装机需求确定性强，经济性显现。太阳电池的一些生产工艺类似于半导体，包括拉晶，镀膜等，也会使用干式真空泵。在光伏产业链中，干式真空泵可应用于硅片拉晶环节、电池片钝化膜环节(PECVD/ALD设备)、组件层压环节等。据捷佳伟创的招股说明书显示，以其 PECVD设备为例，在 PECVD设备中，成本所占比重最大的部件是干式真空泵，2015-2017年，干式真空泵的价值占PECVD设备价值的11.4%/12.2%/12.7%。

　　据真空设备展了解，中科仪的招股说明书显示，晶体生长和硅片生产每GW需要约200台干式真空泵，单台价格约7万元，同时假定真空泵使用寿命为10年，每台真空泵每年需维护费3万元。从而可以估算出2022年硅片环节真空泵设备及保养所需的规模约为35.6亿元。同时，2022年拉晶环节对真空泵新设备需求的规模约为14.5亿元。在考虑到真空泵更新和真空泵维保的费用后，2022年设备和维保的市场规模为35.6亿元，复合增长率约25.5%，保持了高速增长。

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　　来源：百家号