真空设备中的电气系统都配有接地装置以防止事故发生。接地措施不正确可能引发问题，尤其对于大功率的电源。为此，上海国际压缩机展的小编和大家一起聊聊真空设备电气系统接地时要注意的几个问题。

电气系统接地

首先，真空设备中存在多个电气系统时，每个电气系统都应该有自己的接地接线柱。

其次，接地接线柱至少应该是直径1.5cm、长2.5cm的铜柱，并应尽可能地在靠近系统处埋入地下。如果地基的电导率太低，可采用多根接地柱，或者对接地处的土壤用一种电解质进行适当处理。不能将接地线接到水管上，大多数螺纹连接管道的电阻很大。

第三，电源频率下的接地，所用铜线的直径应该大于等于4mm，不应使用编织导线，导线应该用银软焊到接地柱上，而不能仅仅搭接夹上而已。

第四，配有射频电源的真空设备，如射频溅射装置、感应加热器、射频离子源之类的系统或使用电子枪蒸发的设备，或任何储能很大的装置系统，系统接地必须与射频相适应。

作为参考，一个合理的接地返回路径，其电感至少是1.5μH/m，通常可以参考一下几点建议：

1、系统接地点与接地柱之间最大允许距离为2m，最好用更小的距离；

2、接地母线最好采用5cm宽、0.1mm厚的铜带，且不应有明显的弯曲或缺陷；

3、电源不能通过系统的框架“接地”。通常将电源接地接到系统的同一个接地柱上是可以的，但有些特殊情况下要求接在分开的接地柱上。

承受电弧电弧作用的真空系统的接地问题比射频激励设备的更加重要。这些电弧对设备本身不会有电击穿危险，但对驱动阀门或其他正常顺序操作中的外部机构可能产生干扰。

对于超过几十伏的电压部件，以及经常有电流流动的电源必须进行绝缘隔离，以免操作人员接触。同时对于连接电缆，需要防止出现热应力和机械损伤现象，如加热器附近电缆不固定、重物轧过电缆不加保护。

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