真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。

罗茨真空机组需要的罗茨真空泵不能直排大气，如直排大气会形成罗茨真空泵吸气口与排气口压差太大，从而使罗茨真空泵过载，如单纯加大罗茨真空泵电机功率又会形成罗茨真空泵过热致使罗茨真空泵转子之间的微小间隙很快因热收缩而卡死。

罗茨真空机组为保证罗茨真空泵能到达较高真空必需保证罗茨真空泵转子之间的间隙。所以罗茨真空泵运用时必需设有前级泵，用前级泵将系统内压力抽至一定范围内时再启动罗茨真空泵，如此能够防止罗茨真空泵过载。前级泵能够选用水(液)环式真空泵、旋片式真空泵、滑阀式真空泵、往复式真空泵等可直排大气的真空泵。罗茨真空机组在普通状况下，选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，这主要是由于它可以抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵扫除可凝性蒸汽才干不够，或运用的溶剂能使泵油恶化而影响性能，或者是真空系统不允许油污染的时分更为明显。

水环真空机组以罗茨泵为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的。水环真空机组选用的水环泵成为前级泵比其它的真空泵更为有利，因为它不但克服了单台水环泵使用时极限压力差（机组的极限压力比水环泵的极限压力有很大的提高），在一定压力下抽气速率低的缺点，而且与此同时又保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率的优点。它能够适应抽除大量的可凝性蒸汽，尤其是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化进而影响性能，或者是真空系统不允许油污染时更为明显。如果配有防爆电机及电器时并遵守相应的安全规则下，还能够抽除易燃易爆的气体。

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