热阴极电离真空计使用中要注意的几个方面


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  热阴极电离真空计的使用比冷阴极电离真空计还要广泛。螺杆真空泵厂家 已经介绍过冷阴极电离真空计使用时需要主要的一些问题,接下来我们再了解下热阴极电离真空计使用时需要注意的一些方面。


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  首先是气体种类以及温度的影响。螺杆真空泵厂家在《不同气体对真空测量的影响》中,已经提到了像电离真空计、热传导真空计等间接测量的真空计,测量过程中会受不同种类气体的影响。这点和冷阴极电离真空计一样,使用热阴极电离真空计时,需要根据对应气体的相对灵敏度系数进行校准修正。而关于温度,校准的温度和使用的温度差别很大或规管处在室温而被测系统是低温或其它温度时,对测量结果都应进行修正。尤其在超高真空区域,使用时尽可能让真空校准系统和真空计处于相同的温度。

  其次是安装位置的影响。这点我们在《真空规管安装位置与方法对真空测量的影响》中也有涉及。虽然原则上要尽量将真空规管安装在接近被测量的部位(连接管道遵循真空系统的配管原则)。但测量过程中,被测系统往往要给规管带来影响。因此,综合考虑下可以用一根连接管(长度100mm)接到离真空容器一定距离的管道中,以减小影响。同时安装时连接管进气口方向应与管道中气流方向垂直,且规管应竖直安装,防止规管电极的相对位置发生变化,从而影响测量准确性。

  第三,防止漏电电流。热阴极电离真空计工作的过程中,其表面有可能污染或形成蒸发膜,形成漏电电流。电流越大,造成的测量误差也就越大。为了防止漏电电流产生,使用的过程中要保持电极之间的清洁、避免污染。如果发现规管有明显的误差时,就需要检查规管是否被污染。

  第四,规管的吸放气影响。规管的壳体和电极表面会吸附气体,这些气体在真空下会被重新释放出来,会影响测量的稳定性和准确度,因此在测量前须对电极和管壳进行烘烤除气。吸气一块,热阴极电离真空计比冷阴极电离真空计情况要稍微好些,但为了减小影响,真空计连接管尽可能短而粗。

  第五,防止寄生振荡现象。热阴极电离真空计在使用时可能会出现一种高频寄生振荡现象(主要是由于电子在栅极前来回振荡,可能与电路分布构成谐振发生能量交换),导致规管灵敏度改变,甚至出现离子流读数的反转现象。为了防止这种现象可采用屏蔽或藕合改变布线的位置等措施。

  除这些外,还需要注意裸规与管规的读数差异,有无外界电磁场的干扰,除一些复合式真空计外避免在高压力下启用热阴极电离真空计等等。

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